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Präzisions-Systeme

Ein Höchstmaß an Genauigkeit kennzeichnet unsere Präzisionsachsen und Präzisions-Systeme. Mit hochauflösender Wegmessung werden Wiederholgenauigkeiten von ±0,05 µm erzielt. Aufgrund dieser hohen Präzision eignen sich unsere Systeme für Anwendungen in der Halbleiterindustrie sowie der Medizin- und Messtechnik. Zur Verfügung stehen standardisierte Ausführungen, die wir modular auf Ihre Anforderungen individualisieren können. Die Vorteile: reduzierte Entwicklungszeiten, schnelle Angebotserstellung und kurze Lieferzeiten.
23 Produkte
Typ
amax
vmax
Hub X-Achse
Hub Y-Achse
Typische Nutzlast
Wiederholgenauigkeit
Genauigkeit (kalibriert)
Ebenheit / 300 mm
Geradheit / 300 mm
LMG3A-CB5-2CEFE4-300-300-X10C
50 5 300 300 10 ± 1 ± 3
LMG3A-CB5-2CEFE4-600-300-X10C
50 5 300 600 10 ± 1 ± 3
LMG3A-CB5-2CEFE4-600-600-X10C
50 5 600 600 10 ± 1 ± 3
LMG2A-CB5-CEFE4-300-300-X10C
50 5 300 300 10 ± 2 ± 3
LMG2A-CB5-CEFE4-600-300-X10C
50 5 300 600 10 ± 2 ± 3
LMG2A-CB5-CEFE4-600-600-X10C
50 5 600 600 10 ± 2 ± 3
LMX2C-CB5-CB8-300-300-K1AC
300 300 5 ± 0,5 ± 1 ± 5 ± 5
LMX2C-CB5-CB8-400-500-K1AC
500 400 5 ± 0,5 ± 1 ± 5 ± 5
LMX2C-CB5-CB8-500-500-K1AC
500 500 5 ± 0,5 ± 1 ± 5 ± 5
LMSSA2X-10S100-13S200-200-200-XBS1B0
20 1,5 200 200 ± 8 ± 8
LMSSA2X-10S100-13S200-250-250-XBS1B0
20 1,5 250 250 ± 8 ± 8
LMSSA2X-10S100-13S200-300-300-XBS1B0
20 1,5 300 300 ± 8 ± 8
LMSSA2X-10S100-13S200-350-350-XBS1B0
20 1,5 350 350 ± 8 ± 8
LMSSA2X-10S100-13S200-400-400-XBS1B0
20 1,5 400 400 ± 8 ± 8
LMSSA2X-10S100-13S200-400-450-XBS1B0
20 1,5 450 400 ± 8 ± 8
LMSSA2X-10S100-13S200-400-500-XBS1B0
20 1,5 500 500 ± 8 ± 8
LMSSA2X-13S200-20S300-200-200-XBS1B0
20 1,5 200 200 ± 8 ± 8
LMSSA2X-13S200-20S300-250-250-XBS1B0
20 1,5 250 250 ± 8 ± 8
LMSSA2X-13S200-20S300-300-300-XBS1B0
20 1,5 300 300 ± 8 ± 8
LMSSA2X-13S200-20S300-350-350-XBS1B0
20 1,5 350 350 ± 8 ± 8
LMSSA2X-13S200-20S300-400-400-XBS1B0
20 1,5 400 400 ± 8 ± 8
LMSSA2X-13S200-20S300-400-450-XBS1B0
20 1,5 450 400 ± 8 ± 8
LMSSA2X-13S200-20S300-400-500-XBS1B0
20 1,5 500 500 ± 8 ± 8