Meerdere bewegingen

Lineaire assen en assystemen worden toegepast in veel industriële sectoren om componenten te transporteren of te positioneren. HIWIN biedt lineaire assen met tandriemaandrijving voor toepassingen met hoge dynamiek en snelheid. De riemassen kunnen door het modulaire HIWIN-systeem afhankelijk van de eis flexibel worden gecombineerd tot dubbele assen en meerassige systemen. Voor applicaties die hoge voedingskrachten en nauwkeurigheid vereisen, zijn lineaire assen van HIWIN met kogelomloopspindel beschikbaar. De lineaire assen van HIWIN met lineaire-motor-aandrijving voldoen aan de hoogste vereisten op het gebied van dynamiek, nauwkeurigheid en gelijkloop.

Precisie-assen en precisiesystemen voldoen aan de hoogste eisen qua rechtheid, vlakheid en precisie. De systemen met wegmeetsysteem met hoge resolutie zijn beschikbaar in verschillende series als HIWIN-standaard met een groot aantal opties. Klantspecifieke aanpassingen zijn ook buiten de standaard mogelijk.

HIWIN-draai- en zwenktafels zijn rotatieassen die inbouwklaar zijn en zonder aanpassingen aan de constructie direct in het machineconcept kunnen worden overgenomen. De toegepaste onderhoudsvrije directe aandrijvingen garanderen zeer nauwkeurige prestaties van de rotatieassen met een hoog koppel. Dankzij verschillende encoder-interfaces kunnen de draai- en zwenktafels eenvoudig worden geïntegreerd in alle op de markt gebruikelijke machinebesturingen en daarmee in alle beschikbare machineconcepten.

De Wafer Aligner HPA lijnt transparante, doorschijnende en ondoorschijnende wafers betrouwbaar uit. Of het nu gaat om het standaard-, warpage- of het edge-contactproces – de nieuwe modellen richten wafers met diameters van 2 inch tot 12 inch betrouwbaar uit binnen luttele seconden. Drie bewegende HIWIN-assen met spindelaandrijving worden gebruikt om de wafers te centreren en onder een hoek uit te lijnen. Afhankelijk van het model aligner wordt hiervoor een X-Y-eenheid of X-Z-eenheid gebruikt. Dankzij het compacte ontwerp is de HPA-serie ook ideaal voor de integratie in geavanceerde systeemconcepten. De Wafer Aligner van de HPA-serie is ideaal voor toepassingen in de halfgeleiderindustrie en geschikt voor cleanroomklasse ISO 3.